测试装置以及制造方法

摘要

一种测试装置，根据元件的种类，来对形成于被测试晶圆上的多个被测试元件进行灵活地测试。本发明的测试装置是对形成于被测试晶圆上的多个被测试元件进行测试，且包括：测试用基板，与被测试晶圆相对向而设置，且与多个被测试元件电性连接；可程式化元件，设置于测试用基板上，根据所提供的程式资料，使输出逻辑资料对于输入逻辑资料的逻辑关系发生改变；以及多个输入输出电路，于测试用基板上与多个被测试元件相对应而设置，将与可程式化元件的输出逻辑资料相对应的测试信号分别供给至对应的被测试元件。