双面微透镜阵列、雷射光束整型均化装置及雷射光源系统

摘要

一种双面微透镜阵列，应用于雷射光源系统之雷射光束整型均化装置，可将入射之雷射光束的能量分布整型为均匀平顶分布。所述之双面微透镜阵列包括一基板、复数个第一微透镜与复数个第二微透镜。第一微透镜与第二微透镜为具相同形状之凸透镜，并符合绕射光学元件等级，分别设置于基板相对之第一面与第二面上，紧密排列成阵列型态。其中，每一第一微透镜与每一第二微透镜系呈错位状态。