摘要 |
本发明提供一种可轻易地组装设置有搬运基板之驱动辊之驱动轴的处理装置,且本发明之处理装置含有:室;可旋转之复数支撑辊,系沿着前述基板之搬运方向及与搬运方向交叉之上下方向设置于前述室,且可支撑前述基板之倾斜方向下侧之面者;复数驱动辊,系以预定间隔沿着前述基板之搬运方向设置,且可支撑已倾斜预定角度之前述基板之下端者;及驱动机构,可旋转驱动前述驱动辊,且朝预定方向搬运前述支撑辊所支撑之前述基板者。又,前述驱动机构包含有:基底构件,系安装于前述室者;复数驱动轴,系以预定间隔支撑于前述基底构件而可旋转,且前述驱动辊可装卸地设置在前述驱动轴之突出至前述室内之前端者;及第1齿轮,系设置于前述驱动轴之位于前述室外部的后端,并将来自驱动源之动力传达至前述驱动轴以旋转该驱动轴者。 |