含有胺基苯磺酸的半水性剥除及清洁组成物

摘要

本发明有关半水性组成物及使用该半水性组成物以除去高度交联的光阻剂及蚀刻残余物的方法。该等组成物包含胺基苯磺酸、水可混溶性有机溶剂及水。