摘要 |
本发明是一种二氧化矽容器的制造方法,其包含:在二氧化矽粒子亦即第一原料粉,添加Al化合物或结晶核剂而作成混合粉之步骤;一边使具有减压用孔之外模框旋转,一边导入混合粉至外模框的内壁,暂时成形为规定形状之步骤;藉由将暂时成形体从外周侧减压而脱气,并从暂时成形体的内侧进行高温加热,来将暂时成形体的外周部分作成烧结体,并将内侧部分作成熔融玻璃体而形成之二氧化矽基体之步骤;及一边从二氧化矽基体的内侧喷撒其二氧化矽纯度比第一原料粉高的第二原料粉,一边从内侧进行高温加热,藉此而在二氧化矽基体的内表面形成透明二氧化矽玻璃层之步骤。藉此,能提供一种二氧化矽容器的制造方法,其以廉价而比较低品质的二氧化矽粉末作为主原料,并且以投入能量较少、低成本的方式来制造高尺寸精确度、高耐久性、低放出气体性的二氧化矽容器。 |