空间移相横向剪切干涉仪

摘要

一种空间移相横向剪切干涉仪，其特点在于该干涉仪由偏振分光剪切平板、偏振移相器、第一图像传感器、第二图像传感器、第三图像传感器和计算机组成，本发明引入偏振剪切干涉实现了空间移相，消除了环境振动带来的影响，且具有结构简单紧凑、操作简便等优点。

主权项

一种空间移相横向剪切干涉仪，其特征在于该干涉仪由偏振分光剪切平板（2）、偏振移相器（3）、第一图像传感器（4）、第二图像传感器（5）、第三图像传感器（6）和计算机（7）组成，上述元部件的位置关系如下：所述的偏振分光剪切平板（2）为光学平行平板，前表面（2a）镀有偏振分光膜，后表面（2b）镀有全反膜，偏振分光剪切平板（2）与被测波面（1）的传播方向成45°角；所述的偏振移相器（3）由四分之一波片（301），消偏振分光棱镜（302）、第一检偏器（303）、第二检偏器（304）和第三检偏器（305）组成，所述的四分之一波片（301）的快轴与所述的偏振分光剪切平板（2）的前表面（2a）所反射的S波的偏振方向成45°角，所述的消偏振分光棱镜（302）由两块直角棱镜和一块直角梯形棱镜胶合而成，一块较小的直角棱镜的斜边与一块较大的直角棱镜的一个直角边相等并胶合形成胶合面（302b），所述的直角梯形棱镜的斜边与所述的较大的直角棱镜的另一个直角边相等并胶合形成胶合面（302a），所述的胶合面（302a）和（302b）均镀有消偏振分光膜，其分光比为1:1，在所述的直角梯形棱镜的直角腰边、较大的直角棱镜的斜边、较小的直角棱镜的一个直角边外分别设置结构相同的第一图像传感器（4）、第二图像传感器（5）和第三图像传感器（6），所述的第一检偏器（303）、第二检偏器（304）和第三检偏器（305）的透振轴依次相差45°，所述的第一图像传感器（4）、第二图像传感器（5）和第三图像传感器（6）的输出端与所述的计算机（7）的输入端相连；被测波面（1）入射到偏振分光剪切平板（2）上，被前表面（2a）分为偏振方向互相垂直的两束线偏振光波：S波和P波，S波直接被前表面（2a）反射形成反射波，P波透过前表面（2a）后被后表面（2b）反射，再次透过前表面（2a）形成另一束反射波，两束反射波经所述的四分之一波片（301）和消偏振分光棱镜（302）分为三束完全相同的移相剪切干涉图，所述的移相剪切干涉图最后被所述的第一图像传感器（4）、第二图像传感器（5）和第三图像传感器（6）接收并传入到所述的计算机（7），计算机（7）利用移相剪切干涉图处理软件进行相关处理，获得复原被测波面。