一种对衍射孔的定位装置和定位方法

摘要

本发明公开了一种对衍射孔的定位装置和定位方法，定位装置包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构，其中：在聚透镜和探测器之间放置衍射板，入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑，若聚焦斑落在衍射板的可透光区域，则在探测器上形成衍射光斑；调整机构与衍射板连接，且衍射板安装在调整机构上，调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转，调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位；计算机与探测器连接，计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号，用于显示探测器上的光强分布信息。

主权项

一种对衍射孔的定位装置，其特征在于：包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构，其中：在聚透镜和探测器之间放置衍射板，入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑，若聚焦斑落在衍射板的可透光区域，则在探测器上形成衍射光斑；调整机构与衍射板连接，且衍射板安装在调整机构上，调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转，调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位；计算机与探测器连接，计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号，用于显示探测器上的光强分布信息。