发明名称 一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器
摘要 本发明公开了一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器,其特征是结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7),第一加热功率电阻(8),MEMS法布里-珀罗腔芯片(9),第二加热功率电阻(11),出射端准直透镜(12),出射端双光纤插针(13);固定于MEMS法布里-珀罗腔芯片(9)上的热敏电阻(10)。本发明具有体积小、快速调谐、连续可调、高精细度、窄带宽、宽自由谱域和调谐范围、热稳定性好,成本低廉等优点。
申请公布号 CN103257404A 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201310219689.2 申请日期 2013.06.04
申请人 贵阳恒浩光电科技有限公司 发明人 梅加纯;董谊
分类号 G02B6/293(2006.01)I;G02B26/00(2006.01)I 主分类号 G02B6/293(2006.01)I
代理机构 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 代理人 王娟;郭防
主权项 一种MEMS法布里‑珀罗腔可调谐滤波器,其特征在于:结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7),第一加热功率电阻(8),MEMS法布里‑珀罗腔芯片(9),第二加热功率电阻(11),出射端准直透镜(12),出射端双光纤插针(13);固定于MEMS法布里‑珀罗腔芯片(9)上的热敏电阻(10)。
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