发明名称 |
一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器 |
摘要 |
本发明公开了一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器,其特征是结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7),第一加热功率电阻(8),MEMS法布里-珀罗腔芯片(9),第二加热功率电阻(11),出射端准直透镜(12),出射端双光纤插针(13);固定于MEMS法布里-珀罗腔芯片(9)上的热敏电阻(10)。本发明具有体积小、快速调谐、连续可调、高精细度、窄带宽、宽自由谱域和调谐范围、热稳定性好,成本低廉等优点。 |
申请公布号 |
CN103257404A |
申请公布日期 |
2013.08.21 |
申请号 |
CN201310219689.2 |
申请日期 |
2013.06.04 |
申请人 |
贵阳恒浩光电科技有限公司 |
发明人 |
梅加纯;董谊 |
分类号 |
G02B6/293(2006.01)I;G02B26/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/293(2006.01)I |
代理机构 |
北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 |
代理人 |
王娟;郭防 |
主权项 |
一种MEMS法布里‑珀罗腔可调谐滤波器,其特征在于:结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7),第一加热功率电阻(8),MEMS法布里‑珀罗腔芯片(9),第二加热功率电阻(11),出射端准直透镜(12),出射端双光纤插针(13);固定于MEMS法布里‑珀罗腔芯片(9)上的热敏电阻(10)。 |
地址 |
550008 贵州省贵阳市金阳科技产业园标准厂房1号楼1楼 |