发明名称 集成电路元件及其形成方法
摘要 本发明一实施例提供一种集成电路元件及其形成方法,该集成电路元件包括:一中介层,大抵不具有集成电路元件,其中该中介层包括:一基底,具有一第一侧及相反于该第一侧的一第二侧;多个穿基底导电结构,位于该基底之中;一第一内连线结构,位于该基底的该第一侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;以及一第二内连线结构,位于该基底的该第二侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;一第一芯片,接合于该第一内连线结构之上;以及一第二芯片,接合于该第二内连线结构之上。本发明的实施例可避免可能造成的合格率损失。此外,流程时间可减少。
申请公布号 CN102163596B 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201110034826.6 申请日期 2011.01.30
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 胡宪斌;余振华;陈明发;林俊成;赖隽仁;林咏淇
分类号 H01L25/00(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I;H01L23/00(2006.01)I;H01L21/98(2006.01)I 主分类号 H01L25/00(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 张浴月;刘文意
主权项 一种集成电路元件,包括:一中介层,不具有集成电路元件,其中该中介层包括:一基底,具有一第一侧及相反于该第一侧的一第二侧;多个穿基底导电结构,位于该基底之中;一第一内连线结构,位于该基底的该第一侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;以及一第二内连线结构,位于该基底的该第二侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;一第一芯片,接合于该第一内连线结构之上;一第二芯片,接合于该第二内连线结构之上;一封装材料,位于该第二内连线结构之上,且包围该第二芯片;一封装材料,位于该第二芯片之上;以及一空腔,位于该封装材料与该第二芯片之间。
地址 中国台湾新竹市