发明名称 |
集成电路元件及其形成方法 |
摘要 |
本发明一实施例提供一种集成电路元件及其形成方法,该集成电路元件包括:一中介层,大抵不具有集成电路元件,其中该中介层包括:一基底,具有一第一侧及相反于该第一侧的一第二侧;多个穿基底导电结构,位于该基底之中;一第一内连线结构,位于该基底的该第一侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;以及一第二内连线结构,位于该基底的该第二侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;一第一芯片,接合于该第一内连线结构之上;以及一第二芯片,接合于该第二内连线结构之上。本发明的实施例可避免可能造成的合格率损失。此外,流程时间可减少。 |
申请公布号 |
CN102163596B |
申请公布日期 |
2013.08.21 |
申请号 |
CN201110034826.6 |
申请日期 |
2011.01.30 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
胡宪斌;余振华;陈明发;林俊成;赖隽仁;林咏淇 |
分类号 |
H01L25/00(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I;H01L23/00(2006.01)I;H01L21/98(2006.01)I |
主分类号 |
H01L25/00(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
张浴月;刘文意 |
主权项 |
一种集成电路元件,包括:一中介层,不具有集成电路元件,其中该中介层包括:一基底,具有一第一侧及相反于该第一侧的一第二侧;多个穿基底导电结构,位于该基底之中;一第一内连线结构,位于该基底的该第一侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;以及一第二内连线结构,位于该基底的该第二侧上,且电性耦接至至少一所述多个穿基底导电结构;一第一芯片,接合于该第一内连线结构之上;一第二芯片,接合于该第二内连线结构之上;一封装材料,位于该第二内连线结构之上,且包围该第二芯片;一封装材料,位于该第二芯片之上;以及一空腔,位于该封装材料与该第二芯片之间。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |