一种半导体处理设备及其气体喷淋头冷却板

摘要

本发明公开了一种气体喷淋头冷却板，包括盖板、基体，基体包括底板、侧壁，底板上设有多个间隔分布的冷却液分隔装置，相邻的冷却液分隔装置之间形成适于使冷却液通过的冷却液通道，冷却液分隔装置上设有适于使气体通过的通孔，从而实现气体喷淋头冷却板对气体的均匀冷却功能。本发明还公开了一种半导体处理设备，包括上述气体喷淋头冷却板。

主权项

一种气体喷淋头冷却板（10’），其特征在于，包括：基体（21），所述基体（21）包括底板（22）及侧壁（20），所述侧壁（20）与所述底板（22）连接形成第一空间，所述第一空间内的底板（22）上设有若干冷却液分隔装置（30），相邻的所述冷却液分隔装置（30）之间形成冷却液通道（31），所述冷却液分隔装置（30）上设有垂直于底板（22）并适于使气体通过的通孔（32）；适于与所述基体（21）相配合以密封所述第一空间的盖板（11），所述盖板（11）包括盖板上表面（12）和盖板下表面（13），所述盖板（11）上设有数量与所述冷却液分隔装置（30）相等并贯穿所述盖板上表面（12）及盖板下表面（13）的槽（17），所述冷却液分隔装置（30）适于嵌套安装在所述槽（17）内。