超声波矽晶镀膜设备

摘要

本实用新型提供了一种超声波矽晶镀膜设备，尤指一种消除气泡的超声波镀膜结构。本实用新型包含有：一个转盘、一个超声波震荡器。其中转盘设有一个真空吸附盘面，该超声波震荡器设置在转盘的底部，借此，欲进行镀膜的矽晶片得以放在转盘的真空吸附盘面上，再启动真空吸附盘面真空吸附矽晶片，其后在矽晶片上放上镀膜液，在转盘离心旋转的镀膜过程前，该超声波震荡器先以超声波震荡矽晶片，使得气泡被震离镀膜液，达到可消除气泡的功效。

主权项

一种超声波矽晶镀膜设备，包括一个转盘及一个超声波震荡器，其特征是：所述转盘设有一个真空吸附盘面；所述超声波震荡器设置在转盘的底部。