| 主权项 |
一种ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置，其特征在于包括ArF准分子激光器（23）、ArF准分子激光扩束准直装置（5）、可变光阑（6）、起偏器（7）、分束器（8）、样品台（22）、193nm参比光偏振探测装置（9）、193nm透射光偏振测量装置（11）、193nm反射光偏振探测装置（12）；ArF准分子激光器（23）发出的光束经ArF准分子激光扩束准直装置（5）扩束准直后照射到可变光阑（6），再由可变光阑（6）调节光斑大小，然后由起偏器（7）转变为偏振光后入射到分束器（8）；193nm参比光偏振探测装置（9）位于分束器（8）的反射光路上，样品台（22）位于分束器（8）的透射光路上；193nm透射光偏振测量装置（11）固定安装在第一可旋转支撑臂（24）上，193nm反射光偏振探测装置（12）固定安装在第二可旋转支撑臂（25）上；样品台（22）、第一可旋转支撑臂（24）和第二可旋转支撑臂（25）位于同一平面内并具有同一旋转中心，且该旋转中心位于主光轴上；所述ArF激光扩束准直装置（5）和可变光阑（6）安装在第一矩形真空腔体（1）底板上；起偏器（7）和分束器（8）安装在第二矩形真空腔体（2）底板上；193nm参比光偏振探测装置（9）安装在第三矩形真空腔体（3）底板上；193nm透射光偏振测量装置（11）、样品台（22）、193nm反射光偏振探测装置（12）安装在第四矩形真空腔体（4）内部；第一矩形真空腔体（1）沿主光轴方向前后相对开有两个开口；第二矩形真空腔体（2）沿主光轴方向前后相对开有两个开口，在分束器（8）反射光路方向有一个开口；第三矩形真空腔体（3）在分束器（8）反射光路方向有一个开口；第四矩形真空腔体（4）在主光轴方向有一个前开口；各矩形真空腔体之间采用圆形管路连接；第一矩形真空腔体（1）的前开口用窗片密封，并且该开口的边上安装通入N2气的连接管路；所述第四矩形真空腔体（4）上部的密封板上有一个开口，利用一个带有密封胶圈的盖子进行密封。 |
