发明名称 感光性负型树脂组合物
摘要 本发明提供一种感光性负型树脂组合物,其含有(a)含环氧基化合物,(b)含有由(b1)所表示的阳离子部结构和由(b2)所表示的阴离子部结构的第一鎓盐,和(c)含有由(c1)所表示的阳离子部结构和由(c2)所表示的阴离子部结构的第二鎓盐,<img file="DDA00003346921900011.GIF" wi="1087" he="243" /><img file="DDA00003346921900012.GIF" wi="1168" he="464" />
申请公布号 CN103261967A 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201180060350.1 申请日期 2011.12.02
申请人 佳能株式会社 发明人 高桥表;下村雅子;池龟健
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 北京魏启学律师事务所 11398 代理人 魏启学
主权项 1.一种感光性负型树脂组合物,其包括(a)含环氧基化合物,(b)含有由(b1)所表示的阳离子部结构和由(b2)所表示的阴离子部结构的第一鎓盐,和(c)含有由(c1)所表示的阳离子部结构和由(c2)所表示的阴离子部结构的第二鎓盐,<img file="FDA00003346921600011.GIF" wi="1000" he="238" />其中,R<sub>1</sub>至R<sub>3</sub>彼此独立地为可被取代的且具有1至30个碳原子的有机基团,条件是R<sub>1</sub>至R<sub>3</sub>的全部构成原子中包含至少两个氧原子,X选自碳原子、氮原子、磷原子、硼原子和锑原子,Y选自–S(=O)<sub>2</sub>-、氟化亚烷基、-OCF<sub>2</sub>-、-C(=O)-CF<sub>2</sub>-、-O-C(=O)-CF<sub>2</sub>-、–C(=O)-O-CF<sub>2</sub>-和单键,R<sub>4</sub>为可被氟原子取代的且具有1至30个碳原子的烃基,且m和n为:当X为碳原子时,m+n为3且n为选自0、1和2的整数,当X为氮原子时,m+n为2且n为选自0和1的整数,当X为磷或锑原子时,m+n为6且n为选自0至6的整数,或当X为硼原子时,m+n为4且n为选自0至3的整数,<img file="FDA00003346921600012.GIF" wi="937" he="371" />其中R<sub>5</sub>至R<sub>7</sub>彼此独立地为可被取代的且具有1至15个碳原子的有机基团,条件是,R<sub>5</sub>至R<sub>7</sub>的全部构成原子中包含至多一个氧原子,Z选自碳原子和硫原子,当Z为碳原子时,k为1,当Z为硫原子时,k为2,和R<sub>8</sub>为可含有杂原子且具有1至20个碳原子的烃基。
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