热式流量传感器

摘要

一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。

主权项

一种热式流量传感器，包括：传感器元件单元，包含桥电路，该桥电路通过并联连接第一串联电路和第二串联电路后构成，所述第一串联电路由第一发热电阻体及第一感温电阻体串联连接构成，所述第二串联电路由第二感温电阻体、第三感温电阻体及平衡调整用电阻串联连接构成，传感器元件单元还包括第二发热电阻体，其与所述桥电路并联连接，并且多个所述发热电阻体、多个所述感温电阻体及所述平衡调整用电阻在半导体基板上由连线连接，所述发热电阻体、所述感温电阻体及所述平衡调整用电阻由具有温度依赖性的材料构成；驱动电路单元，将所述平衡调整用电阻的两端电压从形成在基板上的铝电极取出到所述半导体基板的外部，在所述两端电压的范围内进行所述桥电路的平衡调整，所述驱动电路单元具有：2个缓冲器，检测平衡调整用电阻的两端电压；多级串联电阻，与取出的所述两端电压的信号电连接；开关，与所述多级串联电阻电连接且由多个开关元件构成，用于可变调整所述多级串联电阻的分压比；开关控制电路，向所述开关发送电信号，对所述多个开关元件进行开闭控制；和差动放大电路，介由晶体管对流过桥电路的电流进行反馈控制，通过所述开闭控制来对所述多个开关元件进行选择，从而由所述多级串联电阻的分压比来调整所述平衡调整用电阻的两端电压，所述平衡调整用电阻形成在所述第二感温电阻体与所述第三感温电阻体之间，将所述调整后的两端电压和所述第一串联电路产生的中间电压输入差动放大电路，介由晶体管根据所述调整后的两端电压与所述中间电压之差来控制流经所述发热电阻体的电流。