光学部件保持构件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种由陶瓷制成的光学部件保持构件及其制造方法，并且提供防止露点冷凝的有效渗透性。该光学部件保持构件由氮化硅陶瓷基复合材料制成，用于保持光学部件，该氮化硅陶瓷基复合材料通过其中使硅与氮反应的氮化方法制备。通过使用含有碳化硅和铁化合物的氮化硅陶瓷基复合材料，当在厚度为1mm的氮化硅陶瓷基复合材料的样品的两个表面之间加有压差为0.4MPa的气压时，在1.5cm2的有效气流面积内实现了按每分钟计50ml以上的气流量，并且获得了具有防止露点冷凝的有效渗透性的光学部件保持构件。

主权项

一种用于保持光学部件的光学部件保持构件，所述光学部件保持构件由氮化硅陶瓷基复合材料制成，其中在所述氮化硅陶瓷基复合材料中含有碳化硅和铁化合物，并且当在厚度为1mm的所述氮化硅陶瓷基复合材料的样品的两个表面之间加有压差为0.4MPa的气压时，在1.5cm2的有效气流面积内按每分钟计的气流量为50ml以上，其中所述氮化硅陶瓷基复合材料通过以下方法制备：将碳化硅粉末和氧化铁粉末混合至硅粉末中以获得混合粉末，并且通过使用获得的混合粉末制备成型体，并且通过与氮的反应而氮化，并且其中当制备所述混合粉末时，将氧化铁Fe3O4粉末添加到所述硅粉末中，使得所述Fe3O4粉末等于或少于原料粉末的总量的5质量％，并且使用这样得到的混合粉末，所述原料粉末是将30质量％碳化硅粉末添加到所述硅粉末中而获得的。