液体供给系统

摘要

本发明提供一种节省空间、同时提高冷却效率的液体供给系统。本发明的液体供给系统，在第二容器（120）内部，波纹管（130）的外侧空间构成第一泵室（P1）。第一泵室（P1）上设有将第一容器（110）内的液体（L）吸入第一泵室（P1）内的第一吸入口（121），以及将吸入的液体（L）由第一泵室（P1）内送出至与系统外部连通的供给通路（K1）的第一送出口（122）。波纹管（130）内部的密闭空间构成第二泵室（P2）。第二泵室（P2）上还设有将第一容器（110）内的液体（L）吸入至第二泵室（P2）内的第二吸入口（123），以及将吸入的液体（L）由第二泵室（P2）内送出至供给通路（K1）的第二送出口（124）。

主权项

一种液体供给系统，其特征在于，包括：收容超低温液体的第一容器；配置于收容在第一容器中的液体中，吸入该液体，并将吸入的液体送出到与系统外部连通的供给通路的第二容器；置入于第二容器内部的波纹管；和通过驱动源进行往复运动，使所述波纹管伸缩的轴，在第二容器中，所述波纹管外侧是第一泵室，该第一泵室中设置有将第一容器中的液体吸入第一泵室内的第一吸入口、和将吸入的液体从第一泵室送出到所述供给通路的第一送出口；所述波纹管内是由密闭空间构成的第二泵室，该第二泵室中设置有将第一容器中的液体吸入第二泵室内的第二吸入口、和将吸入的液体从第二泵室送出到所述供给通路的第二送出口。