溅镀式镀膜装置

摘要

一种用于对待镀工件进行镀膜的溅镀式镀膜装置，其包括腔体、阴极、阳极、承载组件以及靶材。该腔体形成有工作室。该阴极与该阳极相对地设置在该工作室内。该承载组件设置在该工作室内并位于该阴极与该阳极之间，该承载组件包括转动件以及中空载盘。该转动件可转动地固设于该工作室内。该载盘用以装载该待镀工件并暴露该待镀工件的待镀表面，该靶材穿过该载盘，该载盘沿平行该靶材方向可调整地固定在该转动件上以使该靶材与该待镀表面对准。该镀式镀膜装置通过转动件的转动及载盘沿平行靶材方向进行的调整使待镀工件的待镀表面与靶材能够完全对准，因此镀膜时靶材内的原子能够充分堆积在待镀工件表面，从而提高了镀膜的均匀性。

主权项

一种用于对待镀工件进行镀膜的溅镀式镀膜装置，其包括一个腔体、一个阴极、一个阳极、一个承载组件以及一个靶材；该腔体形成有一个工作室；该阴极与该阳极相对地设置在该工作室内；该承载组件设置在该工作室内并位于该阴极与该阳极之间；该靶材固设于工作室内，其特征在于：该承载组件包括：一个转动件，其可转动地固设于该工作室内；及一个中空载盘，其用以装载该待镀工件并暴露该待镀工件的待镀表面，该靶材穿过该载盘，该载盘沿平行该靶材方向可调整地固定在该转动件上以使该靶材与该待镀表面对准。