发明名称 擦子装置及其加工方法以及利用该装置进行清洁的方法
摘要 本发明提供了一种擦子装置,包括连接结构和擦除层,其中,连接结构与擦除层的上表面相连接;擦除层的下表面具有原子级光滑表面,其表面粗糙度小于1纳米;在连接结构和擦除层之间还可以包括一薄膜。原子级光滑表面包括石墨、二硫化钼、铋、云母之一;连接结构用于与驱动装置连接驱动擦除层移动。本发明还提供了一种利用擦子装置进行清洁的方法,该方法包括:(A)通过驱动装置与擦子装置的连接结构相连接;(B)将擦子装置的具有原子级光滑表面的擦除层与待清洁的固体表面相接触;(C)通过驱动装置驱动擦子装置移动以清除固体表面的吸附物。该方法利用原子级光滑表面与固体表面的充分接触进行机械式清洁,实现固体表面吸附物的有效清除。
申请公布号 CN101941005B 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201010238891.6 申请日期 2010.07.27
申请人 清华大学 发明人 郑泉水;刘泽;彼得·伯基尔德;程曜;杨佳瑞;刘益伦;弗朗西斯·格雷
分类号 B08B1/00(2006.01)I 主分类号 B08B1/00(2006.01)I
代理机构 北京市立方律师事务所 11330 代理人 马佑平
主权项 一种擦子装置,其特征在于,是先对具有原子级光滑表面的材料进行微加工获得岛状结构,利用电子束诱导碳沉积把连接结构与所述岛状结构的上表面相粘接,再通过驱动装置驱动所述连接结构移动,使得具有原子级光滑表面材料的层间发生裂开,形成的包括连接结构和擦除层的擦子装置,其中,所述连接结构与所述擦除层的上表面相连接;所述擦除层的下表面具有原子级光滑表面,其表面粗糙度小于1纳米。
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