用于显示面板的薄膜晶体管基板

摘要

一种薄膜晶体管基板，包括底基板、栅电极、栅极绝缘层、表面处理层、有源层、源电极和漏电极。栅电极形成在底基板上。栅极绝缘层形成在底基板上，以覆盖栅电极。表面处理层通过用含氮气体处理栅极绝缘层而形成在栅极绝缘层上，以防止泄漏电流。有源层形成在表面处理层上，以覆盖栅电极。彼此隔开预定距离的源电极和漏电极形成在有源层上。

主权项

一种薄膜晶体管基板，包括：底基板；栅电极，形成在所述底基板上；栅极绝缘层，形成在所述底基板上，以覆盖所述栅电极，并且所述栅极绝缘层包含氮化硅(SiNx)和氧化硅(SiO2)中的至少一种；第一表面处理层，通过用氨气处理所述栅极绝缘层而形成在所述栅极绝缘层上；有源层，形成在所述第一表面处理层上，以覆盖所述栅电极；以及源电极和漏电极，所述漏电极与所述源电极隔开预定距离，所述源电极和所述漏电极形成在所述有源层上。