薄壁真空管道及由薄壁真空管道制造真空室的制造方法

摘要

本发明主要涉及电真空设备的制造方法，尤其涉及一种可以在高频交流电场或交变磁场下使用的真空管道的制造方法。一种薄壁真空管道的制造方法，包括制管、卷边、设置加强筋等多个步骤，还提供一种由制成的真空管道制造真空室的制造方法，包括焊管、制造液压波纹管装置等工艺，用此工艺程序、参数和方法匹配制造出的薄壁真空管道，整个真空管道尺寸大、通体薄壁，能够满足在高频交流电场或交变磁场下使用要求。

主权项

一种重离子肿瘤治疗专用设备用薄壁真空管道的制造方法，其特征在于包括有下述步骤：（1）、将剖面为圆形的薄壁不锈钢管压扁，使所述的薄壁不锈钢管管壁剖面呈跑道形即靠近磁极的管壁剖面呈直线，剖面为直线管壁的两侧管壁呈半圆弧线；所述压扁后的薄壁不锈钢管高为10～90mm，管宽为10～250mm，其管壁厚度为0.3～1mm；（2）、用线切割截取步骤（1）中的截面呈跑道形的薄壁不锈钢管的两端面，并保证薄壁不锈钢管中心线的长度为200～800mm及薄壁不锈钢管两端面设有5～45°的角度，同时预留出薄壁不锈钢管两端面卷边长度2～8mm；（3）、对薄壁不锈钢管的一端断面进行卷边，卷后手工修整边缘；（4）、根据薄壁不锈钢管的横截面尺寸，沿着薄壁不锈钢管外表面线的薄壁不锈钢管外表面上切割出第一加强筋和第二加强筋的跑道形预留孔；薄壁不锈钢管与第一加强筋或第二加强筋之间还预留了填入真空钎焊焊料的间隙；（5）、根据跑道形预留孔，将第一加强筋和第二加强筋安装在薄壁不锈钢管上；（6）、对薄壁不锈钢管的另一端断面进行卷边，卷后手工修整边缘；（7）、调整第一加强筋和第二加强筋的位置及间距：所述第一加强筋的设置间隔为5～30mm，所述第二加强筋的设置间隔为300～1000mm，所述第一加强筋和第二加强筋的厚度为0.5～3mm；在薄壁不锈钢管与第一加强筋或第二加强筋之间缝隙填入真空钎焊焊料，进行真空钎焊焊接，所述的薄壁真空管道制造完成；（8）、对制造完成的薄壁真空管道进行氦质谱检漏，漏率应高于1×10‑9Pa·L/s。