成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构

摘要

本发明是成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构。提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部背对背地固定安装于基体（第一移动件）上，接下来一层的直动轴承的上下两个轨道轴背对背地固定安装于基体（第二移动件）上，交替地组合第一移动件与第二移动件而形成交叉滚子导向件，在真空中将载置在平板上的基板搬运规定的距离。

主权项

一种成膜装置，具备：在内部具有在基板上成膜的成膜机构的成膜腔室、用于在多个该成膜腔室间搬运基板的转送室、以及分隔该成膜腔室与该转送室的闸阀，该成膜装置的特征在于，通过载置基板并使之移动来搬运基板的搬运机构由层叠的多个移动单位构成，并且由一对导轨以及沿该导轨移动的滚动体构成的直动导向件直接或者间接地对该移动单位与移动单位之间进行连接，并且，所述移动单位的至少一个在上下面仅具备导轨、或者滚动体的任意一方。