308nm无极准分子灯

摘要

本发明属电光学领域，具体涉及一种通过微波激励放电发光的308nm波段无极准分子灯管的气体组成及气压参数。该无极光源无污染、光效高、寿命超长，可使准分子光源在印刷及医疗卫生领域的应用范围的大幅扩大。

主权项

一种无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：该无极灯管内充填着氯化氙气体，混合气体总压强为2～20Torr，Xe∶Cl2为20∶1～50∶1。