石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法

摘要

本发明提供了一种石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法。该石墨加热器包括石墨加热器本体和设置在石墨加热器本体的表层的将石墨加热器本体与外界隔离开的隔离层。根据本发明的石墨加热器，设置在石墨加热器表层的隔离层能将石墨加热器和外界隔离开，进而能够防止高温条件下石墨加热器中的碳与外界反应。当利用本发明的石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法制造单晶硅片时，能够有效降低硅片中碳杂质的含量，提高单晶片质量，同时降低企业的生产成本。

主权项

一种石墨加热器，其特征在于，包括石墨加热器本体和设置在所述石墨加热器本体的表层的将所述石墨加热器本体与外界隔离开的隔离层。