晶体高温退火槽的槽底构造

摘要

本实用新型公开了一种晶体高温退火槽的槽底构造，包括保护层，上述保护层的顶面固定有保护层，低层由若干基层叠加固定而成。本实用新型的有益效果在于，在槽底低层上增加保护层，可以起到减少由于退火工作对低层的损伤，增加了退火槽的使用寿命，提高了生产效率；同时在保护层损伤较大后可以进行替换而不用对退火槽进行整体替换，间接的减少了生产成本。

主权项

一种晶体高温退火槽的槽底构造，包括底层，其特征在于，所述底层的顶面固定有保护层。