流体分配阀及具备该阀的流体供给系统及其制造方法

摘要

不需要多个泵装置等流体供给源，能利用简单的结构相对于至少两个以上的流体供给路径选择性地供给流体。流体分配阀（10）构成为，具备：与洗涤泵（5）连通的第一及第二分支管（73、83）；以及阀体（63），该阀体选择性地封闭两个分支管的任一方，并且具有在封闭第一分支管的情况下容许流体从洗涤泵向第二分支管流通的贯通孔（97），阀体在其初期状态下，封闭第一分支管，另一方面，通过在从洗涤泵供给流体时，根据第一分支管侧与第二分支管侧的流体的压力差位移或变形，而敞开第一分支管并且封闭上述贯通孔。

主权项

一种流体分配阀，将从流体供给源供给的流体选择性地分配到多个流道，其特征在于，具备：与上述流体供给源连通的第一及第二分支管；以及阀体，该阀体选择性地封闭上述两个分支管的任一方，并且具有在封闭上述第一分支管的情况下，容许流体从上述流体供给源向上述第二分支管流通的贯通孔，上述阀体在其初期状态下，封闭上述第一分支管，另一方面，通过在从上述流体供给源供给流体时，根据上述第一分支管侧与第二分支管侧的上述流体的压力差位移或变形，而敞开上述第一分支管并且封闭上述贯通孔。