内扣环和外扣环

摘要

本发明公开了一种内扣环和外扣环。一种用于化学机械抛光机的载具头包括底座、基板安装表面、环形内环和环形外环。内环具有配置为圆周地环绕定位于基板安装表面上的基板的边缘的内表面、外表面和接触抛光垫的下表面。内环相对于基板安装表面而可垂直移动。外环具有圆周地环绕内环的内表面、外表面和接触抛光垫的下表面。外环相对于且独立于基板安装表面和内环而可垂直移动。内环的下表面具有第一宽度，且外环的下表面具有大于第一宽度的第二宽度。

主权项

一种用于保持基板的内环，包括：环形体，所述环形体具有内表面、环形下表面、环形上表面以及外表面，所述内表面经配置为圆周地环绕基板的边缘以在抛光期间保持基板，所述环形下表面经配置为与抛光垫形成接触，其中所述内表面包括下区域和上区域，所述内表面的所述下区域邻近于所述下表面并且是垂直圆柱状表面，所述内表面的所述上区域是垂直圆柱状表面，并且所述内表面的所述上区域的内径向直径大于所述内表面的所述下区域的内径向直径，以及其中所述外表面包括下区域、上区域、位于所述外表面的所述下区域与所述上区域之间的向外突出的唇部，所述外表面的所述下区域邻近所述下表面并且是垂直圆柱状表面，所述外表面的所述上区域是垂直圆柱状表面并且所述外表面的所述上区域的外径向直径大于所述外表面的所述下区域的外径向直径，所述唇部包括水平下表面和倾斜区域，所述倾斜区域将所述外表面的所述下部分连接至所述唇部的所述水平下表面。