研磨液组合物

摘要

本发明提供一种能够抑制端面下垂的研磨液组合物，其含有共聚物以及研磨材料，所述共聚物具有下述式(I)表示的结构单元和下述式(II)-(III)表示的一种以上的结构单元。作为用于形成下述式(I)表示的结构单元的单体，可列举出甲基丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯等，作为用于形成下述式(II)表示的结构单元的单体，可列举出甲基丙烯酸硬脂酸酯等，作为用于形成下述式(III)表示的结构单元的单体，可列举出甲基丙烯酸聚丙二醇酯等。

主权项

1.一种研磨液组合物，其含有共聚物、水以及研磨材料，所述共聚物具有下述式（I）表示的结构单元和选自下述式（II）和（III）表示的结构单元中的至少一种结构单元，所述式（I）中，R¹是氢原子或者甲基，R²是碳原子数为1-4的烷基，AO是碳原子数为1-8的氧化烯基，p是0或1，n是AO的总平均加成摩尔数，且是6-300的数，（AO）_n中的氧化乙烯基所占的比例是80摩尔％以上，所述式（II）中，R³是氢原子或者甲基，X是氧原子或者NH基，R⁴是碳原子数为4-30的烷基或者碳原子数为6-30的芳基，所述式（III）中，R⁵是氢原子或者甲基，R⁶是氢原子或者碳原子数为1-3的烷基，AO是碳原子数为2-4的氧化烯基，m是AO的总平均加成摩尔数且是3-150的数，（AO）_m中的氧化丙烯基和氧化丁烯基所占的比例是80摩尔％以上，其中，所述研磨液组合物中的所述水的含量为75重量%以上，所述研磨液组合物中的所述共聚物的含量为0.001-3重量％。