发明名称 |
一种TaVN复合涂层及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种TaVN复合涂层,其特征在于是在氮气与氩气的混合气体氛围下,以金属、硬质合金或陶瓷为基体,采用高纯Ta靶和高纯V靶共溅射,V元素的原子百分比为0~46.7at%且大于0,先在基片上沉积纯Ta层作为过渡层,然后再沉积1.5-2μm的TaVN复合膜。所得TaVN膜层硬度为30-34GPa,常温下的摩擦系数最低为0.56,高温下的摩擦系数最低为0.5。可作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。 |
申请公布号 |
CN103255373A |
申请公布日期 |
2013.08.21 |
申请号 |
CN201310138383.4 |
申请日期 |
2013.04.19 |
申请人 |
江苏科技大学 |
发明人 |
许俊华;喻利花;薛亚萍 |
分类号 |
C23C14/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/14(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
楼高潮 |
主权项 |
TaVN复合涂层,其特征在于是采用高纯Ta靶和高纯V靶共溅射,沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上得到的,TaVN膜层的厚度为1~3μm,硬度为30~34GPa,常温下的摩擦系数最低为0.56,高温下的摩擦系数最低为0.5。 |
地址 |
212003 江苏省镇江市梦溪路2号 |