大气电浆镀膜装置

摘要

一种大气电浆镀膜装置，包含一个壳体，及分别安装于壳体的一个电浆喷头与一个抽气设备。壳体具有一个工作面，工作面穿设有一个安装孔及多个抽气孔，电浆喷头具有一个外露于安装孔的电浆喷出部，抽气设备是与抽气孔连通，且可产生作用于抽气孔的负压吸力。通过于该壳体的电浆喷头外露处周围设置抽气孔，并经由抽气设备于壳体中产生负压吸力的方式，可将电浆废气与周围粉尘抽吸排出，防止镀膜作业空间内的其它设备被污染，且可防止多个电浆源气流的彼此干扰，有助于提高制程稳定性与镀膜质量。

主权项

一种大气电浆镀膜装置，包含一个中空的壳体，及一个安装于该壳体的电浆喷头，其特征在于：该壳体具有一个工作面，该工作面穿设有一个安装孔，及多个间隔分布于该安装孔周围的抽气孔，该电浆喷头是安装于该壳体中，并具有一个外露于该安装孔的电浆喷出部，该大气电浆镀膜装置还包含一个抽气设备，该抽气设备是连通安装于该壳体并与所述抽气孔连通，且能够在该壳体内产生作用于所述抽气孔的负压吸力。