超薄工件的电解加工方法及装置

摘要

本发明涉及一种超薄工件的电解加工方法及装置，属于精密微细电化学加工领域。该方法的特征在于：利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理，运用纳米电极对悬挂在电解液液膜中的超薄工件进行纳米电解加工，避免了装夹时由于工件自身的刚性不足而产生形变，致使产生形状误差等问题；且电解加工具有加工不受材料强度和硬度限制、工具电极无损耗、加工工件表面无残余应力和再铸层、加工质量好、生产效率高等优点。为异形结构件加工、超小孔加工、群孔加工、线切割加工等微细电解加工领域进行纳米级的加工试验研究开辟了崭新的方向。

主权项

一种超薄工件的电解加工方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1.将纳米电极（12）与金属圆环（14）分别固定在左右两个载物台上，超薄工件（22）通过金属丝（23）悬挂在金属圆环（14）内；用滴管吸取电解液并注入金属圆环（14），形成一层薄薄的电解液液膜（21），超薄工件（22）浸在电解液液膜中；步骤2.纳米电极（12）装夹在第一载物台（7）上与电源（19）的负极相连，金属圆环（14）安装在第二载物台（6）上与电源（19）的正极相连，通过两套三维微动控制台控制纳米电极的对刀运动，同时通过示波器18采集对刀过程中的电流信号；步骤3.利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理，纳米电极（12）作为工具阴极，通过纳米电极的X、Y、Z三轴数控运动对电解液液膜（21）中的超薄工件（22）进行纳米电解加工。