大长径比纳米级轴制备装置及方法

摘要

一种大长径比纳米级轴制备装置及方法,属精密微细电化学加工领域。该装置包括安装于X-Y轴移动平台（1）的定位件（8），固定于定位件（8）的阴极夹具（11），通过阴极夹具（11）夹持的阴极水平圆环（7），还包括安装于Z轴精密位移平台（2）的旋转主轴夹具（4），固定于旋转主轴夹具（4）的引电装置（6），固定于旋转主轴夹具（4）的旋转主轴（3），上述电源(15)正负级分别与引电装置（6）和阴极夹具（11）相连。本发明方法及装置能够加工出具有大长径比的纳米级细长轴，并且具有可重复性强，成功率高和成本较低等优点。

主权项

一种大长径比纳米级轴制备装置，其特征在于：包括PCI运动控制卡（5）、计算机（14）、电源（15）；还包括主动隔振平台（13）、安装于主动隔振平台（13）的X‑Y轴移动平台（1）、安装于X‑Y轴移动平台（1）的定位件（8），固定于定位件（8）的阴极夹具（11），通过阴极夹具（11）夹持的阴极水平圆环（7），还包括通过床身安装于主动隔振平台（13）的Z轴精密位移平台（2），安装于Z轴精密位移平台（2）的旋转主轴夹具（4），固定于旋转主轴夹具（4）的引电装置（6），固定于旋转主轴夹具（4）的旋转主轴（3），上述电源(15)正负级分别与引电装置（6）和阴极夹具（11）相连；上述定位件（8）上安装有纳米轴接收装置（12），纳米轴接收装置（12）位于阴极水平圆环（7）的下方。