一种释放气体测试装置及方法

摘要

本发明提供一种释放气体测试装置，包括释放气体取样装置、待测气体定量取样装置以及释放气体检测装置和真空度监测装置。释放气体取样装置连接外部的释放气体源，释放气体取样装置与待测气体定量取样装置之间通过阀门连接并控制，释放气体检测装置与待测气体定量取样装置连接。本发明还提供一种利用上述测试装置进行释放气体测试的方法，包括：S1，测试系统背景真空源制备和释放气体取样；S2，释放气体样品导入背景真空源中；S3，对背景真空源中的释放气体样品进行测试；背景真空源的真空度由真空度监测装置监测并且必须稳定在1×10-5Pa以下。本发明能够对导入背景真空源的释放气体进行可靠的特性分析，并且操作简单、判断快捷。

主权项

一种释放气体测试装置，其特征在于：所述的测试装置包括释放气体取样装置、待测气体定量取样装置和释放气体检测装置；所述的释放气体取样装置连接放气阀和外部的释放气体源，所述的释放气体取样装置与待测气体定量取样装置之间通过阀门连接并控制，所述的释放气体检测装置与待测气体定量取样装置连接，并且，在释放气体取样装置和待测气体定量取样装置上都安装有真空度监测装置。