用于检查或测量对象的设备、光学组件、方法，以及用于制造结构的方法

摘要

提供用于检查或测量对象的系统的光学组件，该光学组件被配置为在该系统被指向目标时作为单元与系统一起移动，并且消除对可以相对于系统的其它部分移动的大扫描（指向）反射镜的需要。该光学组件包括反射折射光学器件，该反射折射光学器件被配置为折叠被引导通过该系统的出口的指向光束和测量光束的光路，以压缩该光学组件的大小。

主权项

一种用于检查或测量对象的设备，该设备包含作为设备的一部分的能够作为一个单元移动的光学组件，并且该设备被配置用来将测量光束引导通过光学组件的出口，该光学组件被配置用来折叠被引导通过光学组件的出口的测量光束的光路。