发明名称 |
一种钠钙玻璃衬底上CIGS吸收层的制备方法 |
摘要 |
一种钠钙玻璃衬底上高光电转换效率Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层的沉积方法,该沉积方法采用改进的三步共蒸发法,先在Mo表面沉积CuGaSe2薄层,随后采用类似三步共蒸发法的前两步,分别沉积(InGa)2Se3预制层和富铜化学计量比的Cu(InGa)Se2和二次相CuxSe,然后用Br2水溶液刻蚀掉二次相CuxSe,最后在刻蚀后的样品表面上蒸发沉积In2Se3膜层,并对其进行退火处理。用这种方法沉积的CIGS吸收层,既增强了CIGS在Mo层上的粘附性,改善了Mo背接触的欧姆特性,获得了Ga的后偏析,又形成贯穿整个膜层的柱状大晶粒,镜面状贫铜富铟表面。保证了CIGS太阳电池具有较大的开路电压VOC、填充因子FF、短路电流JSC和良好的外量子效率EQE,从而确保了CIGS薄膜太阳电池的高光电转换率。 |
申请公布号 |
CN103258898A |
申请公布日期 |
2013.08.21 |
申请号 |
CN201210035816.9 |
申请日期 |
2012.02.17 |
申请人 |
任丘市永基光电太阳能有限公司 |
发明人 |
马格林;张建柱;孙玉娣;彭博 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种钠钙玻璃衬底上Cu(In1‑xGax)Se2(CIGS)吸收层的沉积方法,其特征在于,其包括:蒸发Cu、Ga、Se在涂覆Mo的钠钙玻璃衬底上,形成CuGaSe2层,蒸发In、Ga和Se形成(In1‑xGax)3Se5预置层,蒸发Cu和Se形成富铜化学计量比的Cu(InGa)Se2和二次相CuxSe,Br2水溶液刻蚀二次相CuxSe,蒸发In、Se,使表层形成贫铜富铟层。蒸发沉积In和Se,在刻蚀表面形成In2Se3层,然后退火,使CIGS表面成为富铟贫铜的镜状表面。 |
地址 |
062550 河北省任丘市永丰路办事处丰收路北 |