发明名称 抛光垫及其制造方法
摘要 本发明提供抛光垫及其制造方法,所述方法包括:(a)混合用于形成抛光层的材料;(b)将能够控制孔隙的尺寸的惰性气体、胶囊型发泡剂、化学发泡剂和液体微单元中的至少两种与(a)中的混合物混合,从而形成两种以上的孔隙;(c)对(b)中产生的混合物进行胶凝和硬化,从而形成包含所述两种以上的孔隙的抛光层;和(d)加工所述抛光层以使通过开放所述两种以上的孔隙而界定的微孔分布在所述抛光层的表面上。
申请公布号 CN103252729A 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201310051674.X 申请日期 2013.02.17
申请人 KPX 化工有限公司;三星电子株式会社 发明人 安峰秀;张英俊;李相穆;郑辉国;宋基天;金昇槿;徐章源;秋政璇
分类号 B24D18/00(2006.01)I;B24B37/26(2012.01)I 主分类号 B24D18/00(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 庞东成;龚泽亮
主权项 一种制造抛光垫的方法,所述方法包括:(a)混合用于形成抛光层的材料;(b)将能够控制孔隙尺寸的惰性气体、胶囊型发泡剂、化学发泡剂和液体微单元中的至少两种与(a)中的混合物混合,从而形成两种以上的孔隙;(c)对(b)中产生的混合物进行胶凝和硬化,从而形成包含所述两种以上的孔隙的抛光层;和(d)加工所述抛光层以使通过开放所述两种以上的孔隙而界定的微孔分布在所述抛光层的表面上。
地址 韩国首尔