发明名称 制造半导体装置的方法和制造电子装置的方法
摘要 提供了一种制造半导体装置的方法和制造电子装置的方法。该制造半导体装置的方法包括:在支承构件上设置第一粘接层;在第一粘接层上设置膜;在膜上布置半导体元件;在布置有半导体元件的膜上设置树脂层,并在膜上形成包括半导体元件和树脂层的基片;以及使膜和基片与第一粘接层分离。
申请公布号 CN103258770A 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201310048766.2 申请日期 2013.02.06
申请人 富士通株式会社 发明人 佐佐木伸也;石月义克;谷元昭
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 王萍;陈炜
主权项 一种制造半导体装置的方法,包括:在支承构件上设置第一粘接层;在所述第一粘接层上设置膜;在所述膜上布置半导体元件;在布置有所述半导体元件的所述膜上设置树脂层,并在所述膜上形成包括所述半导体元件和所述树脂层的基片;以及使所述膜和所述基片与所述第一粘接层分离。
地址 日本神奈川县
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