发明名称 |
制造半导体装置的方法和制造电子装置的方法 |
摘要 |
提供了一种制造半导体装置的方法和制造电子装置的方法。该制造半导体装置的方法包括:在支承构件上设置第一粘接层;在第一粘接层上设置膜;在膜上布置半导体元件;在布置有半导体元件的膜上设置树脂层,并在膜上形成包括半导体元件和树脂层的基片;以及使膜和基片与第一粘接层分离。 |
申请公布号 |
CN103258770A |
申请公布日期 |
2013.08.21 |
申请号 |
CN201310048766.2 |
申请日期 |
2013.02.06 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
佐佐木伸也;石月义克;谷元昭 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王萍;陈炜 |
主权项 |
一种制造半导体装置的方法,包括:在支承构件上设置第一粘接层;在所述第一粘接层上设置膜;在所述膜上布置半导体元件;在布置有所述半导体元件的所述膜上设置树脂层,并在所述膜上形成包括所述半导体元件和所述树脂层的基片;以及使所述膜和所述基片与所述第一粘接层分离。 |
地址 |
日本神奈川县 |