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发明名称 CONTROLLED GAS MIXING FOR SMOOTH SIDEWALL RAPID ALTERNATING ETCH PROCESS
摘要
申请公布号 KR20130091684(A) 申请公布日期 2013.08.19
申请号 KR20130013880 申请日期 2013.02.07
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 XU QING;THIE WILLIAM;RUSU CAMELIA
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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