MICRO-MECHANICAL DEVICE FOR CONTACTLESSLY DETECTING AN ELECTRICAL POTENTIAL

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum berührungslosen Bestimmen eines elektrischen Potentials eines Objekts (12), mit einem Elektrodenelement (14), einer Messeinrichtung (20) zum Bestimmen einer zeitlichen Änderung eines Ladezustands des Elektrodenelements (14), und einer Auswerteeinrichtung (60) zum Ermitteln des Potentials des Objekts (12) anhand der Veränderung des Ladungszustands und einer elektrischen Kapazität einer Anordnung aus Elektrodenelement (14) und dem Objekt (12), wobei das Elektrodenelement (14) mit einem Aufhängungselement (28) an einem Trägerelement (18) beweglich aufgehängt ist, die Vorrichtung (10) eine Stelleinrichtung (34) zum Bewegen des Elektrodenelements (14) in Bezug zu dem Trägerelement (18) umfasst, und das Elektrodenelement (14), das Aufhängungselement (28), das Trägerelement (18) und die Stelleinrichtung (34) durch ein mikromechanisches Bauteil gebildet sind.