激光加工装置

摘要

提供一种激光加工装置，能减小设置空间，并能不使用工作台旋转机构而使用固定工作台使基板旋转。该激光加工装置具备：位置固定的工作台(40)，所述工作台的基板载置面由多孔部件形成，并设有经由多孔部件吸附基板的吸附机构以及经由多孔部件对基板吹送气体使基板浮起的浮起机构；激光光源(10)；激光束扫描光学系统(20)，所述激光束扫描光学系统将从激光光源射出的激光束整形为截面为椭圆的激光束并引导至基板的加工面，在加工面上进行扫描；以及基板引导机构(50)，所述基板引导机构在对载置于工作台上的基板进行定位或者使该基板移动时，通过活动抵接部引导基板，该活动抵接部与浮起的基板的基板侧面抵接并在工作台表面沿水平方向推压基板侧面使基板移动，使基板浮起并利用基板引导机构推压基板侧面使基板向预期位置移动、旋转。

主权项

一种激光加工装置，该激光加工装置具备：位置固定的工作台，所述工作台的基板载置面由多孔部件形成，并且所述工作台设有经由多孔部件吸附基板的吸附机构、以及经由多孔部件对基板吹送气体使基板浮起的浮起机构；激光光源；激光束扫描光学系统，所述激光束扫描光学系统将从激光光源射出的激光束整形为截面为椭圆的激光束并引导至基板的加工面，并沿被照射至基板上的椭圆束斑的长轴方向进行扫描；以及基板引导机构，所述基板引导机构以相互夹持基板的方式配置有多个能够移动的活动抵接部，所述活动抵接部与利用所述浮起机构浮起的基板的基板侧面抵接并在工作台表面沿水平方向推压该基板侧面使基板移动，所述基板引导机构在对基板进行定位或者使该基板移动时，通过所述活动抵接部引导所述基板。