一种叠层仿真方法和系统

摘要

本发明公开了一种叠层仿真方法和系统，属于集成电路设计自动化技术领域。所述方法包括：获取相邻的两层金属互连线中第一金属层的线宽参数和密度参数，以及第二金属层的表面形貌高差参数；根据第一金属层的密度参数和第二金属层的表面形貌高差参数，建立仿真修正模型；根据第一金属层的线宽参数与第一金属层的预设线宽的比较结果，选择仿真修正模型计算第一金属层的仿真模拟值。本发明还提供了一种叠层仿真系统。本发明将第一金属层线宽参数计算简化为典型线宽，并进一步简化为第二金属层的表面形貌高差参数和第一金属层的密度参数的二元函数，通过上述二元函数的计算能够简单快速地计算出叠层仿真的模拟结果，降低了计算的复杂度。

主权项

一种叠层仿真方法，其特征在于，所述方法包括：获取相邻的两层金属互连线中第一金属层的线宽参数和密度参数，以及第二金属层的表面形貌高差参数；根据所述第一金属层的密度参数和第二金属层的表面形貌高差参数，建立第一仿真修正模型和第二仿真修正模型；根据所述第一金属层的线宽参数与所述第一金属层的预设线宽的比较结果，选择所述第一仿真修正模型或所述第二仿真修正模型计算所述第一金属层的仿真模拟值；当所述第一金属层的线宽参数与第一金属层的预设线宽差值在预设范围之内时，采用所述第一仿真修正模型计算所述第一金属层的仿真模拟值；其中，所述第一仿真修正模型为所述第二金属层的表面形貌高差参数和第一金属层的密度参数的二元函数；当所述第一金属层的线宽参数与第一金属层的预设线宽的差值不在预设范围之内时，采用所述第二仿真修正模型计算所述第一金属层的仿真模拟值；其中，所述采用第二仿真修正模型计算所述第一金属层的仿真模拟值包括：根据所述第一金属层的线宽参数与第一金属层的预设线宽的差值选择至少两个预设线宽的仿真模拟值；对所述至少两个预设线宽的仿真模拟值采用曲线拟合的方式计算所述第一金属层的仿真模拟值。