搬运装置

摘要

本发明涉及搬运装置，该搬运装置包括：搬运室，所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部；多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内；以及线性移动机构，所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。所述多关节机器人的所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板。

主权项

一种搬运装置，所述搬运装置包括：搬运室，所述搬运室具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间，并且所述搬运室设置有多个连接口部，这些连接口部与外界连通并且形成于周壁的长侧壁中；多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内并且包括臂部，所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板；以及线性移动机构，所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的所述臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。