发明名称 |
AZO-卤化锌双层导电膜及其制备方法 |
摘要 |
本发明属于导电薄膜领域,其公开了一种AZO-卤化锌双层导电膜及其制备方法;该双层导电膜包括AZO层和卤化锌层;其中,AZO层中,ZnO质量百分含量为80~97%,SnO2的质量百分含量为3~20%;卤化锌层中,卤素选自F、Cl或Br。本发明采用磁控溅射设备,制备AZO-卤化锌双层导电膜,其在450~790nm波长范围可见光透过率85%~90%,方块电阻范围20~90Ω/□,表面功函数5.5~6.1eV。 |
申请公布号 |
CN103243299A |
申请公布日期 |
2013.08.14 |
申请号 |
CN201210030214.4 |
申请日期 |
2012.02.10 |
申请人 |
海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
发明人 |
周明杰;王平;陈吉星;黄辉 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
何平 |
主权项 |
一种AZO‑卤化锌双层导电膜,其特征在于,该双层导电膜包括AZO层和卤化锌层;其中,AZO层中,ZnO质量百分含量为90~99.5%,Al2O3的质量百分含量为0.5~10%;卤化锌中的卤素选自F、Cl或Br。 |
地址 |
518100 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层 |