承载器晶片保护装置

摘要

本发明涉及一种承载器晶片保护装置，它括主轴、轴承座、固定在轴承座下端的吸盘、与吸盘下端面密封固定的盖板和吸附在盖板下端面上的陶瓷盘，所述吸盘沿径向对称设有二个锁舌，且锁舌与吸盘滑动配合，锁舌的里端与吸盘间设有复位弹簧，所述陶瓷盘设有防脱防护圈，防脱防护圈下端设有供承托陶瓷盘的内凸缘，防脱防护圈上端内侧设有与所述锁舌外端卡接的凹槽。本发明结构简单、操作快捷方便，使用本装置后在不降低生产效率的前提下，能够大大提高抛光设备工作的可靠性，能够明显有效的给企业减少经济损失。

主权项

一种承载器晶片保护装置，它包括主轴、轴承座、固定在轴承座下端的吸盘、与吸盘下端面密封固定的盖板和吸附在盖板下端面上的陶瓷盘，其特征是所述吸盘(10)沿径向对称设有二个锁舌(11)，且锁舌(11)与吸盘(10)滑动配合，锁舌(11)的里端与吸盘(10)间设有复位弹簧(3)，所述陶瓷盘(13)设有防脱防护圈(16)，防脱防护圈(16)下端设有供承托陶瓷盘(13)的内凸缘，防脱防护圈(16)上端内侧设有与所述锁舌(11)外端卡接的凹槽。