具有设计用于高压操作的操作参数和几何形状的电离计

摘要

一种用以测量压力和减少溅射产量的电离计包括产生电子的至少一个电子源。所述电离计还包括收集由所述电子与气体分子之间的碰撞所形成的离子的集极电极。所述电离计还包括阳极。相对于集极电极的偏置电压的阳极偏置电压经配置以在预定压力下切换以使溅射碰撞的产量减小。

主权项

一种用以测量压力的电离计，其包含：至少一个电子源，其产生电子；集极电极，其收集由所述电子与气体分子之间的冲击形成的离子；以及阳极，其经配置以基于预定压力相对于所述集极电极的偏置电压来切换偏置电压。