发明名称 防尘薄膜组件收纳容器
摘要 本发明的目的在于提供一种防尘薄膜组件收纳容器,其即使在将把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件等任意一个所构成的功能性零件安装于收纳容器时,也能保持容器内部洁净。本发明的防尘薄膜组件收纳容器包括:防尘薄膜组件收纳容器本体(20),用于装载防尘薄膜组件;及盖体,覆盖于防尘薄膜组件,且与防尘薄膜组件收纳容器本体(20)在边缘部相嵌合卡定。该防尘薄膜组件收纳容器特征为:通过螺纹联接机构将由把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件所构成的功能性零件安装于树脂制的容器本体(20)或盖体,且该螺纹联接机构的外螺纹及内螺纹的表面不露出于该容器本体(20)或盖体的内侧。
申请公布号 CN102169847B 申请公布日期 2013.08.14
申请号 CN201110035699.1 申请日期 2011.02.10
申请人 信越化学工业株式会社 发明人 关原一敏
分类号 H01L21/673(2006.01)I;G03F1/66(2012.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;张会华
主权项 一种防尘薄膜组件收纳容器,其包括:防尘薄膜组件收纳容器本体,其用于装载防尘薄膜组件;及防尘薄膜组件收纳容器盖体,其用于覆盖防尘薄膜组件,且与防尘薄膜组件收纳容器本体在边缘部相嵌合卡定;其特征在于,通过螺纹联接机构将由把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件的任意一个所构成的功能性零件安装于树脂制的防尘薄膜组件收纳容器本体或防尘薄膜组件收纳容器盖体,且上述螺纹联接机构其外螺纹、内螺纹的周围被与螺纹部形成一体的树脂覆盖,在将功能性零件固定后,再将接触部周围的间隙以有机溶剂溶解而密封。
地址 日本东京都