一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜装置

摘要

本发明涉及一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜装置，在玻璃生产线的退火窑内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板进入退火窑内并向前运动；当玻璃基板的温度下降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板进入镀膜区内；从镀膜区上方空间向镀膜区内输入反应气体，使反应气体发生化学反应后在玻璃基板表面沉积膜层，同时，从镀膜区上方空间反应气体的反应区周围向外抽出废气。采用上述方法及装置，利用玻璃成型后进入退火窑的余温进行在线镀膜，缩短了镀膜玻璃的流程时间，节省了非在线镀膜必需的加热所消耗的能源。同时，进气通道和抽气通道是独立单元，根据生产需要可以灵活方便地拆卸和组装，可获得各种膜层厚度和各种导电率的导电玻璃。

主权项

一种导电玻璃的在线镀膜方法，在玻璃生产线的退火窑内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板进入退火窑内并向前运动；当玻璃基板的温度下降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板进入镀膜区内；从镀膜区上方空间通过多个进气通道向镀膜区内输入反应气体，使反应气体发生化学反应后在玻璃基板表面沉积膜层，同时，从镀膜区上方空间反应气体的反应区周围通过多个抽气通道向外抽出废气，多个所述抽气通道呈环状布置，包裹于多个所述进气通道外，并通过激光测量仪测量玻璃基板上已形成的膜层厚度，对膜层厚度进行反馈。