表面清洁装置与表面清洁方法

摘要

本发明公开一种表面清洁装置。该装置包括：一基板定位装置，以固定一待处理表面；一扫拂装置，以对该待处理表面作连续的扫拂；一移动装置，用以使该待处理表面与该扫拂装置作相对运动；及一流体清洁材料供应装置，以将一流体清洁材料供应到该扫拂装置的扫拂表面，用以移除该待处理表面上的材料；其中，该流体清洁材料包括一可流动载体以及至少一种高硬度材料颗粒；且该基板移动定位装置可将该待处理表面移送至该扫拂装置的扫拂表面。本发明还公开使用上述装置的清洁表面的方法。

主权项

一种表面清洁装置，包括：一基板定位装置，用以固定一待处理表面；一扫拂装置，用以对所述待处理表面作连续的扫拂；一移动装置，用以使所述待处理表面与所述扫拂装置作相对运动；及一流体清洁材料供应装置，用以将一流体清洁材料供应到所述扫拂装置的扫拂表面，以移除所述待处理表面上的部分材料；其中，所述流体清洁材料包括一可流动载体以及至少一种高硬度材料颗粒。