| 主权项 |
一种具有侧壁加热电极与相变材料的存储器单元的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）在衬底上制备第一绝缘层；2）在第一绝缘层上制备下电极金属层；3）在下电极金属层上制备第二绝缘层；4）在第二绝缘层上开孔至下电极金属层，填充下电极材料，使下电极材料与下电极金属层接触；5）在第二绝缘层上依次制备第三和第四绝缘层，将下电极材料的表面覆盖；6）在第四绝缘层上向下开第一沟槽，露出第二绝缘层中的下电极材料的一部分；7）在第一沟槽中制备加热电极材料，并去除第一沟槽底部第二绝缘层上的加热电极材料，保留第一沟槽侧壁上的加热电极材料，从而形成侧壁结构的加热电极，加热电极与其下方的下电极材料接触；8）在第一沟槽中填充第五绝缘层，并对表面实现平坦化，使加热电极的顶面露出；9）在第四绝缘层上依次制备第六和第七绝缘层，将加热电极和第五绝缘层的表面覆盖；10）在第七绝缘层上向下开第二沟槽，第二沟槽与第一沟槽所在方向相交，它们的夹角在30‑150度之间，使加热电极的一部分露出；11）在第二沟槽中制备相变材料，并去除第二沟槽底部的部分相变材料，保留第二沟槽侧壁上的相变材料，从而形成侧壁结构的相变材料层，相变材料层与其下方的加热电极接触；12）在第二沟槽中填充第八绝缘层，并实现表面平坦化，使相变材料层的顶面露出；13）在相变材料层上制备第一上电极金属层和刻蚀停留层，实现它们的图形化，并刻蚀掉第二沟槽中的部分第八绝缘层，使第二沟槽底部的部分第四绝缘层露出；14）制备第九绝缘层将步骤13）所得结构的表面覆盖，然后实现表面平坦化，露出刻蚀停留层的顶面；15）在第九绝缘层上依次制备第十和第十一绝缘层，将刻蚀停留层的表面覆盖；16）在第十一绝缘层上向下开孔至第一上电极金属层，填充上电极材料，使上电极材料与第一上电极金属层接触；17）在上电极材料上制备第二上电极金属层，并图形化，使第二上电极金属层完全盖住上电极材料；18）最后在第十一绝缘层上制备第十二绝缘层，将第二上电极金属层覆盖，并在第十二绝缘层中开孔，露出部分第二上电极金属层供测试使用而包裹住其它部分。 |
