单轴线性电动机、多轴线性电动机及元件移载装置

摘要

本发明涉及线性电动机，其包括磁体和电枢，通过在向电枢供电时在该电枢与磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使磁体和电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力。代表性的实施方式中，本发明的线性电动机包括：底板，移动方向设定在其底面上；可动部，沿该移动方向相对往返移动自如地安装在底板上。可动部上设置有构成磁体和电枢其中一者的动子。在底板的底面上设置有以在该底面的宽度方向上与动子相对的状态，沿移动方向构成磁体和电枢其中另一者的定子。底板的至少沿移动方向的外缘部分上设置有立壁，该立壁形成收纳空间，该收纳空间具有让定子、动子及可动部能够沿与底面正交的方向插拔的开口。

主权项

一种单轴线性电动机，其特征在于：包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，该单轴线性电动机还包括：底板，所述移动方向设定在其底面上；可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；动子，设置在所述可动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者；立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口；副齿，由磁体构成，设于电枢的齿部列的两端；及磁性体板，为了辅助由所述副齿所实现的齿槽力低减效果而配置于所述副齿与所述底板之间。