| 发明名称 | 剥离用组合物以及剥离用组合物的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供使在剥离基板表面的支撑板后液痕残渣的产生得以减少的剥离用组合物。本发明所述的剥离用组合物含有用于通过溶解使支撑板贴附于基板的粘接剂而将该基板从该支撑板剥离的溶剂，其中，具有比该溶剂沸点高25℃以上的沸点的高沸点杂质的含量为5质量％以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103242981A | 申请公布日期 | 2013.08.14 |
| 申请号 | CN201310046729.8 | 申请日期 | 2013.02.06 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 吉冈孝广;今井洋文;久保安通史 |
| 分类号 | C11D7/24(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C11D7/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 龚敏 |
| 主权项 | 一种剥离用组合物，其特征在于，其含有用于通过溶解使支撑板贴附于基板的粘接剂而将该基板从该支撑板剥离的溶剂，其中，具有比所述溶剂的沸点高25℃以上的沸点的高沸点杂质的含量为5重量％以下。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||